Sb<,2>S<,5>湿敏材料的特性研究

摘要：

研究了硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性,发现Sb<”5+>金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性,本文对这类元件的频率特性、湿滞特性、响应-恢复时间、复阻抗以及稳定性进行了测试,并对其敏感机理和稳定性原理进行了探讨.

关键词： 硫化物 湿敏元件 复阻抗 湿滞特性

作者: 张彤 赵志勇 徐宝琨 曲大龙 全宝富 吴连海 王修中 张原军 吴家琨 韩晶波

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院(吉林长春) 吉林职业师范学院电子工程系(吉林长春) 吉林华星电子集团有限公司(吉林)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 680-683

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）