多层片式PZT系压电陶瓷微位移器位移特性研究

摘要：

采用陶瓷坯膜流延成型和陶瓷坯膜／金属内电极共烧技术，制作了多层片式高合铅PzT压电陶瓷微位移器。获得了体积小、电压低位移量大（38V，1.05μm）的多层片式微位移器。对器件在直流和直流偏置交流电压作用下位移特性进行分析和研究。

关键词： 流延 多层片式压电陶瓷微位移器 位移

作者: 李国荣 陈大任 沈卫 张望重 张申 殷庆瑞

作者单位: 科学院无机功能材料开放实验室,上海硅酸盐研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 491～493

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）