在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪

摘要：

一种新型的、用于磨床上在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。仪器体积小（25×20×10cm<”3>）、抗外界环境干扰能力强。该仪器以稳定频半导体激光器（LD）作为光源。共光路设计，使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。计大数和测小数相结合的外差信号处理方法，实现了大的动态测量范围和很高的测量分辨率。同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。

关键词： 表面粗糙度 在线检测 共光路 外差干涉 自动聚焦 激光干涉议

作者: 梁嵘 李达成 曹芒 赵洪志 武勇军

作者单位: 清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国无损检测新技术暨第九届激光检测技术学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 268-271

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）