零级抑制石英相位掩模板的研究及其应用

摘要：

该文提出了用全息方法制作高精度相位掩模版的方案，用比较简单的方法分析了零级抑制石英相位掩模版的光学原理，找到了抑制零级加强一级的有效方法。提出了用零级抑制石英相位掩模版直接在半导体波导上写入光栅的设想。

关键词： 零级抑制石英相位掩模板 半导体

作者: 余建国

作者单位: 邮电科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 宜昌

会议语种:中文

页码: 351～354

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）