TS9000MX VLSI测试系统计量检定研究

摘要：

该文是ITS9000MX VLSI测试系统的计量检定研究报告， 描述了ITS9000MX计算检定的基本思想、原理和关键技术。

关键词： 标准仪器 计量 检定 校准 测试系统

作者: 沈森祖 石坚

作者单位: 中国船舶工业总公司微电子产品检测中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届中国集成电路测试学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 158～160

在线出版日期: 1999-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）