用表面粗糙度多刻线标准样板S<,m>值检测高倍光学测量显微镜方法的研究

摘要：

目前放大倍率为400倍以上的光学显微镜没有相应的国家基标准可对其进行检测。 作者通过对国家标准－表面粗糙度多刻线标准样板S<,m>值的定度和对400倍显微镜的检测进行实验和研究，解决了元标可传和一标两用的问题，提供出一种量传简单、准确可靠的新方法。

关键词： 标准样板 S<,m>值 量传 高倍显微镜

作者: 王心航 张恒 马艺清 刘佳丽

作者单位: 天津市计量技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年计量测试学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 211～216

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）