微机电系统(MEMS)的标准化

摘要：

本文对微机电系统(MEMS)标准化问题进行了简要叙述,比较了MEMS标准化与传统制造业及微电子工业标准化的异同,对MEMS标准化所涉及的内容进行了概括,最后对MEMS领域的标准化趋势进行了预测.

关键词： 标准化 微机电系统

作者: 董海峰 张文栋

作者单位: 华北工学院(山西太原)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 751-754

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）