离子注入机国内外现状及发展动态

摘要：

简述了离子注入机的应用发展,并详细分析了该领域的技术发展方向;概述了离子注入国内外现状和发展趋势,并阐述了发展的重要意义.

关键词： 离子注入机 离子注入 掺杂 微电子技术

作者: 杨洪普

作者单位: 信息产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第六届生产技术学分会学术年会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 1-13

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）