自给栅偏压电路在注入机引出极电源中的应用

摘要：

离子注入机中的引出极电源，由于工作环境的特殊，在运行过程中经常因离子源内部之间的放电短路效应而导致引出电源自身内部元件的损坏。介绍一种采用高压真空管的自册偏压电路，应用到注入机的引出电源中，不仅可改善电源的稳定性，而且有效地提高了在输出短路时电源的自我保护功能，从而提高了注入机整机运行的可靠性。

关键词： 离子注入机 引出电源 自给栅偏压

作者: 罗子孝

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 173～177

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）