离子注入机小型化设想

摘要：

在超大规模集成电路的生产中，离子注入是相当重要的工艺过程。离子注入机在净化间中占了很大的面积。在净化要求越来越高，净化费用越来越高的今天，如何缩小离子注入机的占地面积、减低运行成本是一个值得考虑的问题，探讨了离子注入机小型化的途径。

关键词： 离子注入机 离子光路 净化间 投资 运行成本

作者: 郑新根 郭健辉

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 178～182

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）