剂量测控系统设计若干优化考量

摘要：

阐述了关于强流离子流入机剂量测探系统设计中若干技术问题优化措施。

关键词： 离子注入机 机械扫描 剂量 测控

作者: 陈毅功

作者单位: 科鹏微电子公司(深圳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 200～204

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）