关键词： 离子注入 深亚微米 ＭＯＳ晶体管
作者: 高文方 殷华湘 索俊生 徐秋霞
作者单位: 院微电子中心(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
会议地点: 长沙
会议语种:中文
页码: 266～270
在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）