关键词: 离子注入 SOI-SIMOX薄膜 表面电学性能
作者: 卢殿通
作者单位: 师范大学低能核物理研究所,北京市辐射中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 226~228
在线出版日期: 1998-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)