会议专题

离子注入SOI-SIMOX薄膜的表面电学性能

离子注入 SOI-SIMOX薄膜 表面电学性能

卢殿通

师范大学低能核物理研究所,北京市辐射中心

国内会议

第六届全国固体薄膜学术会议

成都

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226~228

1998-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)