关键词： 离子体 材料 改性 薄膜 制备
作者: 杨思泽 李兵 任育峰 刘赤子 吴杏芳 韦鲲 付莺
作者单位: 科学院物理研究所 科技大学
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 77～87
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）