BAD MoS<,2>-Ag复合膜的氧化行为研究

摘要：

用XPS分别检测了在相对湿度60-75℅的室温环境存放60天和100℅湿度环境存放45天以及在435℃高温加热1小时的离子束辅助沉积MoS<,2>-Ag复合膜中Mo与S元素的化学态。发现在100℅湿度和430℃高温环境，MoS<,2>-Ag复合膜的抗氧化特性远优于同条件沉积的纯MoS<,2>复合膜。结合XRD分析，讨论了该膜抗氧化性能提高的可能机制。

关键词： 离子速辅助沉积 复合膜 氧化

作者: 王培录 刘仲阳 廖小东 苟富君

作者单位: 四川大学原子核科学技术研究所(成都) 成都电子科大

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 239～243

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）