La、O<”+>双注入硅基薄膜室温可见光致发光研究

摘要：

测量了用离子注入方法将La、O<”+>双注入硅基样品在室温下的光致发光(PL)谱，实 验结果表明它们均具有蓝、紫发光峰，且发光稳定。在一定范围内发光效率随退火温度和注入顺序的不同而变化。用原子力显微镜观察了不同条件下制备的样品的表面形貌，并对样品的发光机理作了初步探讨。

关键词： 离子双注入 硅基薄膜发光 光致蓝紫发光 表面形貌

作者: 元美玲 曾宇昕 王水凤 徐飞 程国安

作者单位: 南昌大学物理系(南昌) 南昌大学材料科学与工程系(南昌)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 361～364

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）