纳米锆氧化物薄膜的制备

摘要：

采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.同时发现不同的衬底对形成纳米锆氧化物的临界氧离子束流密度也不同.

关键词： 离子束溅射沉积 纳米锆氧化物 锆氧化物薄膜

作者: 黄宁康 辐射物理及技术教育部重点实验室(成都) 汪德志 辐射物理及技术教育部重点实验室(成都) 杨斌 辐射物理及技术教育部重点实验室(成都) 雷家荣 辐射物理及技术教育部重点实验室(成都)

作者单位: 四川大学原子核科学技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第二届纳米材料和技术应用会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: G29-G32

在线出版日期: 2001-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）