溅射薄膜二线制压力变送器研制

摘要：

该文介绍了溅射薄膜二线制压力变送器的原理及主要组成部分。由离子束溅射薄膜压力传感器及专用的新型二线制变送器集成电路组成的压力变送器兼具二者的优点，二线制４～２０ｍＡ电流输出，性能稳定可靠，适和于要求较高的工业测控系统等广泛的应用领域。

关键词： 离子束溅射 压力变送器 二线制 薄膜压力传感器

作者: 唐柏森

作者单位: 航天工业总公司第七○一研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届第五次全国气动实验测控自动化技术交流会

会议地点: 镇江

会议语种:中文

页码: 209～212

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）