用IAC技术制备DLC膜的性能研究

摘要：

该文简单介绍利用离子束辅助镀膜(IAC)设备沉积类金属刚石碳(DLC)膜的工艺，并对沉积的DLC膜的硬度、电阻率、结合力等乾地测试分析研究，以便为DLC膜的开发应用提供工艺依据。

关键词： 离子束镀膜 类金刚石碳膜

作者: 朱启良 林美娟 过骐千 王锦辉 周灵平

作者单位: 北京机械工业自动化研究所 湖南大学材料测试研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 225～228

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）