多功能ＩＡＤ设备的研制和应用

摘要：

简要介绍一台多功能离子束辅助沉积设备以及类金刚石膜制备工艺和性能。

关键词： 离子束 沉积设备 类金刚石膜

作者: 朱启良 王锦辉 白玉兰 周灵平 李绍禄

作者单位: 机械工业自动化研究所(北京) 大学材料测试研究中心 大学材料测试研究中心(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 157～159

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）