关键词： 离子束 沉积 制备 钛合金 薄膜
作者: 向伟 戴晶怡 方仁昌
作者单位: 工程物程研究院应用电子学研究所(四川绵阳)
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 188～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）