关键词： 离子束 沉积 类金刚石 薄膜 表面处理
作者: 林美娟 朱启良 过骐千 周灵平 李绍禄
作者单位: 机械工业自动化研究所 大学材料测试研究中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 200～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）