关键词： 离子束 沉积 TiC 薄膜 碳化钛
作者: 向伟 李文治
作者单位: 工程物理研究院应用电子学研究所 大学材料科学与工程系
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 189～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）