离子束薄膜合成及其应用

摘要：

该文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长，以及离子注入ＳＯＩ材料合成的方法及其物理过程，同时对离子束会成薄膜在工业及国防上的应用也进行了探讨。

关键词： 离子束 薄膜 合成 新材料

作者: 柳襄怀

作者单位: 科学院离子束开放研究实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国薄膜学术讨论会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 50～52

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）