真空离子渗硫技术及设备特点

摘要：

该文简要介绍了离子渗硫技术，论述了当前离子渗硫技术的发展、应用的一些方面。提出了有关设备的几个关键问题。

关键词： 离子渗硫 等离子体 表面处理

作者: 凌国伟 倪翰 萧域星

作者单位: 机械局武汉材料保护研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国薄膜学术讨论会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 262～265

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）