C<,60>薄膜的离化团簇束沉积及离子掺杂
(0) 用离化团簇不(ICB)沉积法在石英玻璃和云母衬底上形成了C<,60>薄膜，XRD测试表明膜呈多晶结构，原位电阻测试表明膜的室温电阻率超过10<”4>Ωcm，具有负的电阻温度系数。用80keV P<”+>，BBr<,3><”+>，Ar<”+>和He<”+>对C<,60>膜作剂量范围为0-10<16>cm<”-2>的离子注入，C<,60>膜的电阻率随注入剂量增加而急剧下降，磷注入具有n型掺杂作用，离子与C<,60>分子的相互作用导C<,60>发子分裂，引起薄膜表面非晶化。
离化团簇束沉积 C<,60> 离子注入 原位测试
傅德君 雷园园 李金钗 叶明生 彭友贵 范湘军
大学物理学系(武汉)
国内会议
成都
中文
279～283
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）