磁控溅射制备类金刚石膜生物材料的工艺与性能的研究

摘要：

采用磁控溅射方法制备用于人工心瓣的类金刚石膜生物材料具有独特的优越性。该文研究了磁控溅射工艺条件对沉积速率和性他的影响，结果表明该法沉积的类金刚石膜具有优良的生物学和力学性能，是一种理想的生物材料。

关键词： 类金刚石膜 磁控溅射 沉积速率 性能

作者: 杨云志 冉均国 郑昌琼

作者单位: 联合大学无机材料系(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 939～941

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）