质量分离低能离子束制备极光滑类金刚石薄膜

摘要：

本文利用质量分离的低能离子束技术沉积得到了表面极为平整的类金刚石薄膜.样品用Raman谱和原子力显微镜进行了分析.并且研究了沉积能量对表面形貌和成分的影响.

关键词： 类金刚石薄膜 质量分离离子束沉积 表面形貌 薄膜技术

作者: 刘志凯 廖梅勇 姚振钰 柴春林 杨少延 王占国

作者单位: 中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 656-657

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）