雷射干涉仪精度验证
雷射干涉仪线性佼移量测系统是高精度且量程长的量测仪器，必须借助校正才能确保其精度。因商品雷射干涉仪并未将其量测软件开放给使用者修改，所以间接式校正的结果，只能用以判别系统精度是否超出预定规格，对于精度提升并无助益。为解决此问题，该文设计一直接式的校正系统双雷射干涉仪验证系统，让标准与待测同时量测相同位移，进而得到两套位移量测系统的相对偏差值。实验发现直接式与间接式的校正结果符合一致无明显矩异。使用者在作位移量测时，只要修正偏差值，即可得校正的精度。
雷射干涉仪 精度验证 位移量测
唐忠基 卢圣华
量测技术发展中心
国内会议
兰州
中文
64～69
2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）