镧钙锰氧薄膜表面微裂纹的控制

摘要：

采用脉冲激光沉积镀膜的方法，在钛酸锶单晶基片上制备了具有自发生成的有序微裂纹结构的La<,0.5>Ca<,0.5>MnO<,3>(LCMO)薄膜。通过制备工艺的优化，获得了具有不同裂 纹密度的LCMO薄膜，并采用离子刻蚀技术改善裂纹的微结构实现裂纹宽度的精确控制。这为单条微裂纹隧道结的制备提供了很大的方便。文中详细地讨论了薄膜制备工艺与薄膜结构的关系，以及薄膜表面的改善方法。

关键词： 镧钙锰氧薄膜 裂纹 微结构 隧道结 超大磁电阻材料

作者: 龚伟志 赵柏儒 蔡纯 林媛

作者单位: 中国科学院物理研究所(北京) 中国科学院物理研 究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 107～110

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）