一种提高扩散泵机组性能的有效方法

摘要：

该文介绍采用单机制冷压缩机组却扩散泵档板，通过实验证实，它是一种降低扩散泵返油率，提高极限 真空度的有效方法。

关键词： 扩散泵 极限真空度 单机制冷压缩机 挡油板

作者: 徐成海 郝璐 高亚杰 孙能运

作者单位: 东北大学(沈阳) 沈阳兰菱真空设备厂(沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 11-14

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）