横向振动微结构空气阻尼的理论研究

摘要：

本篇论文考虑了边缘效应的影响,用库特模式(Couette-type)和斯托克斯模式(Stocks-type)两种流体边界层理论建立了一个分析计算模型,对几种横向振动谐振器的Q值进行了计算,其平均误差小于10℅.

关键词： 空气阻尼 横向振动谐振器 库特模式 斯托克斯模式

作者: 章彬 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 65-67

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）