可变矩形电子束曝光机光阑形态的调整

摘要：

介绍利用自行设计的检测图形，检测可变矩形束曝光机成形光阑形态，描述了成形光阑的调整方法，而成形光阑形态、位置的正确与否直接关系到器件和电路芯的制作质量。通过大量实验检测证实，应用此检测图形检测快捷、使用方便、检测精度高。

关键词： 可变矩形束电子束曝光机 成形方光阑

作者: 张建宏 梁俊厚 陈宝钦 刘明 李友 张卫红

作者单位: 院微电子中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 79～81

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）