PLC在激光法制备纳米级氮化硅生产线自动控制系统中的应用

摘要：

该文介绍了纳米级氮化硅粉未生产工艺流程和OMRONC200H型PLC的应用情况，对该生产线自动控制系统中PLC的功能。与上位机通讯。梯型图设计，LSS软件应用等方面的某些问题作了分析。指出了OMRON C系列PLC在实际使用中的优点和不足之处。

关键词： 可编程序控制器 纳米氮化硅 生产过程控制

作者: 张晓江 张崇巍

作者单位: 工业大学自动化研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届过程控制科学报告会(上、下)

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 765～769

在线出版日期: 1998-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）