微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析
微纳米技术的迅速发展促使微机电系统(MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统(MOEMS),从而炎可编程相位光栅的研究和实现提供了可能.在MOEMS的设计中,仅用传统的分析手段已经不够,其建模和仿真需要用到有限元分析.本文提出了一种可编程相位光栅的可变形结构,运用经典理论建模,通过计算得到其变形的定性分析结果和定量的近似结果,并提出一个用有限元分析软件ANSYS进行有限元建模的实例,得到相应的仿真结果.
可编程相位光栅 微光机电系统 有限元分析 结构设计
陈非凡 殷玲
清华大学精密仪器及机械学系(北京)
国内会议
沈阳
中文
341-343
2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）