基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性实验研究

摘要：

本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确性和技术的可行性、优越性.

关键词： 可编程相位光栅 微光机电系统 光谱技术

作者: 陈非凡 李云龙 殷玲 乔力争

作者单位: 清华大学精密仪器及机械学系(北京) 海军海司航保部(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 344-345,389

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）