关键词： 聚焦离子束 透射电镜 亚微米芯片
作者: 唐雷钧 谢进 陈一 郑国祥 宗祥福
作者单位: 复旦大学材料科学系(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一次全国电子显微学会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 513～514
在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）