激光聚焦式微位移传感器数字伺服算法

摘要：

该文提出了一种用数字拟合算法来实现激光聚焦光信号，并在激光聚焦式微位移传感器中得到了验证，其算法是可行的。该算法在聚焦光信号用于伺服控制中具有较好的频率响应。

关键词： 聚焦 微位移传感器 伺服控制 激光仪器

作者: 彭源 李建林 谢铁邦

作者单位: 湖北工学院(湖北武汉) 华中理工大学(湖北武汉)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国首届计算机辅助公差设计专题学术会议暨全国高校互换性与测量技术研究会2000年年会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 294～296

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）