巨磁电阻材料及其在微机械真空传感器的应用探讨

摘要：

本文介绍了新型高灵敏度磁敏感材料-巨磁电阻材料,指出巨磁电阻材料具有灵敏度高、制作工艺简单、尺寸小、抗辐照等优点,采用合适过渡层后可获得更高的灵敏度.在此基础上,文章分析了巨磁电阻磁敏器件的工作原理,并对巨磁电阻磁传感器在微机械真空传感器方面的应用进行了讨论.

关键词： 巨磁电阻材料 磁敏器件 微机械真空传感器

作者: 李铁 熊斌 王跃林

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点联合实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 307-309

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）