关键词： 静电感应晶体管 场效应器件 二次外延层 质量控制
作者: 夏明颖 赵彤 吴福民 陈秉克 赵丽霞
作者单位: 产业部第十三研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 140～142
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）