一种NPN晶体管阵列电路的研制

摘要：

通过一种ＮＰＮ晶体管阵列电路的研制，给出了其工艺特点及难点，并经过多次版图设计及工艺设计优化，最终得到了满足使用要求的器件。

关键词： 晶体管阵列 双层外延 饱和压降

作者: 展明浩 杨维成

作者单位: 兵器工业第二一四研究所(安徽蚌埠)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 729～731

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）