纳米分辨近场光学显微成象技术现状

摘要：

该文介绍纳米分辨近场光学显微成象技术现状，近场光学显微成象技术大体可分为三种基本类型：小孔扫描近场光学显微镜（ａ－ＳＮＯＭ）、无孔径尖散射扫描近场光学显微镜（ｓ－ＳＮＯＭ）和光子扫描隧道显微镜（ＰＳＴＭ）。文中将介绍这三类近场光学显微镜成象原理、现状和各自特点，其中将重点介绍该校纳米成象技术研究组ＰＳＴＭ的研究进展，ＰＳＴＭ消假象数值模拟和实验研究结果，实验空间分辨首次达到２．８ｎｍ线扩展函数半高宽的水平。

关键词： 近场光学 扫描近场光学显微镜 无孔径(尖散射) 扫描近场光学显微镜 光子扫描隧道显微镜 显微成象

作者: 吴世法 简国树 潘石

作者单位: 理工大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国图像图形学学会东北分会第四届学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 1～5

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）