采用MOD工艺制备PZT压电薄膜及其性能的研究

摘要：

该文比较详细地研究了采用金属有机化合物热分解(MOD)法制备锆钛酸铅Pb(Zr<,0.52Ti<,0.48>)O<,3>铁电薄膜的工艺及PZT薄膜的介电性能。利用XRD分析了薄膜的结晶过程，制得具有钙钛矿结构的PZT薄膜，铂电极有利于钙钛矿相形成。薄膜的介电温谱研究结果表明：薄膜的居里温度约为430℃(1KHZ)。

关键词： 金属有机化合物 锆钛酸铅 铁电薄膜

作者: 张之圣 陈智勇 王聪修

作者单位: 天津大学电子信息工程学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 372～375

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）