会议专题

用低温Raman散射光谱研究不同处理的CdZnTe表面

利用低温Raman散射光谱分析,比较了4种典型处理的Cd<,0.96>Zn<,0.04>Te表面声子散射信号和表面元素沉积的变化。对-220~-90cm<”-1>的反斯托克斯分量进行分析得出,BM液腐蚀后的表面晶格完整性最好;LB液处理有利于进一步改善表面粗糙度和表面漏电流;离子轰击的表面缺陷多,质量差,但对制备良好欧姆接触的电极有现实意义。实验证明Raman 散射光谱对于探测表面上元素的沉积和分析表面质量的变化,进而优化表面处理工艺十分有效。

金属氧化物 Raman散射光谱 表面处理

裴慧元 方家熊

传感技术国家重点实验室中国科学院上海技术物理研究所(上海)

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全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

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397~402

2000-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)