MEVVA金属离子源电气系统的研制
利用离子注入技术进行材料表面改性，具有不改变工件的几何尺寸和材料的基体性质，蝗高材料表面的硬度，抗磨损，耐腐蚀，抗疲劳，降低摩擦系数等特点。MEVVA金属离子源是八十年代中期发展起来的新型强流离子源，该源具有可产生金属离子种类多、离子束纯、束流大、电荷剥离态高等优点。MEVVA金属离子源利用真空弧放电原理产生高密度金属等离子体，在引出电场作用下，形成强流离子束。
金属离子源 供电系统 测量系统
龚晓荣 马山明 唐德礼 蒲世豪
核工业西南地区物理研究院
国内会议
成都
中文
30～34
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）