陶瓷基体上金属薄膜屈服强度及硬化指数的纳米压入法测定

摘要：

使用三维弹塑性大应变有限元计算软件ＡＢＡＱＵＳ，对金属薄膜与陶瓷基体组成的典型膜－基体系的纳米压入加载过程进行了模拟分析，提出了利用纳米压入仪测得的连续压入加载曲线确定陶瓷基体上金属薄膜屈服强度与硬化指数的一般方法。作为实例，该文测定了蒸发镀制在硅单晶上三种不同膜厚铝膜的屈服强度和硬化指数，并与拉伸分离法的结果进行了比较，实验结果表明，该文提出了研究方法完全可行。

关键词： 金属薄膜 屈服强度 硬化指数 纳米压入 有限元法

作者: 马德军 徐可为 何家文

作者单位: 交通大学金属材料强度国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 211～213

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）