NiTi薄膜测试中光热技术的应用

摘要：

该文用光热技术对ＮｉＴｉ溅射薄膜进行了测量，探索了光热技术在薄膜无损检测方面运用的可行性。实验结果表明光热技术作为一种无损的检测方法可以应用于厚度范围为数微米的薄膜样品缺陷的检测和材料特性的特征。在系统调制频率为２００ｋＨｚ下ＯＢＤ系统可接收到清晰的信号，ＰＴＲ系统在ＮｉＴｉ薄膜缺陷分析中分辨能力为１０μｍ。

关键词： 金属薄膜 铌钛薄膜 无损检测 光热技术

作者: 王家敏 毛大立

作者单位: 部高温材料及高温测试开放实验室,上海交通大学材料科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 221～224

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）