WC/Co硬质合金基体金刚石形核行为的研究

摘要：

以直流等离子射流ＣＶＤ法研究了表面预处理工艺和沉积工艺对ＭＣ／Ｃｏ基体上金刚石膜形核行为的影响，结果表明：用金刚石微粉研磨过的基体表面形核密度比采用其他预处理工艺的基体表面形核密度高出２￣３个数量级，而采用相对较高的甲烷浓度（４℅￣６℅）和相对较低的基体表面温度（７００￣８００℃）对形核有利，其中在甲烷浓度６℅，基体温度７００℃的条件下得到了１０〈’８〉／ｃｍ〈’２〉的最高形核密度和平均１ｕｍ的晶粒尺寸。

关键词： 金属表面处理 金刚石膜 化学汽相沉积 等离子化学汽相沉积 WC/Co基体 成核 涂层刀具

作者: 丁谦 代明江 严志军

作者单位: 有色金属研究院新材料室 理工大学(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 615～617

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）