关键词： 金属 离子注入 成膜 薄膜 金属 表面处理
作者: 李中岳 王平
作者单位: 科技集团公司504所
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 201～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）