ＣＶＤ金刚石膜研究进展

摘要：

简要地总结了ＣＶＤ金刚石膜技术近期研究与开发情况。讨论了金刚石膜工具，热学应用，光学应用，及电子学应用的现状、进展及发展趋势。金刚石膜工具是近期的最大市场应用。但随着沉积技术和异质外延技术的进一步突破，金刚石膜光学和电子学应用将比工具应用有更加光明的市场前景。

关键词： 金刚石膜 化学气相沉积 产业化趋势

作者: 吕反修

作者单位: 科技大学材料科学与工程学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七次全国热处理大会

会议地点: 洛阳

会议语种:中文

页码: 51～56

在线出版日期: 1999-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）